云南光刻机价格怎么样

云南光刻机价格怎么样

2020-03-24 22:03:11热度:作者:东弘仪器仪表来源:http://www.phunxammoi3d.com

云南光刻机价格怎么样

IQAligner工业自动化功能:盒式磁带/SMIF/FOUP/SECS/GEM/薄,弯曲,翘曲,边缘晶圆处理

晶圆直径(基板尺寸):高达200毫米

对准方式:

上侧对准:≤±0.5μm

底侧对准:≤±1,0μm

红外校准:≤±2,0μm/具体取决于基板材料

曝光设定:真空接触/硬接触/软接触/接近模式/弯曲模式

曝光选项:间隔曝光/洪水曝光

系统控制

操作系统:Windows

文件共享和备份解决方案/无限制程序和参数

多语言用户GUI和支持:CN,DE,FR,IT,JP,KR

实时远程访问,诊断和故障排除

产能

全自动:第/一批生产量:每小时85片

全自动:吞吐量对准:每小时80片EVG同样为客户提供量产型掩模对准系统。云南光刻机价格怎么样

EVG增强对准:全电动顶部和底部分离场显微镜支持实时,大间隙,晶圆平面或红外对准,在可编程位置自动定位。确保最/佳图形对比度,并对明场和暗场照明进行程序控制。先进的模式识别算法,自动原点功能,合成对准键模式导入和培训可确保高度可重复的对准结果。

曝光光学:提供不同配置的曝光光学系统,旨在实现任何应用的最/大灵活性。汞灯曝光光学系统针对150,200和300mm基片进行了优化,可与各种滤光片一起用于窄带曝光要求,例如i-,g-和h-线滤光片,甚至还有深紫外线。甘肃光刻机质量怎么样EVG所有掩模对准器都支持EVG专有的NIL技术。

光刻机软件支持

基于Windows的图形用户界面的设计,注重用户友好性,并可轻松引导操作员完成每个流程步骤。多语言支持,单个用户帐户设置和集成错误记录/报告和恢复,可以简化用户的日常操作。所有EVG系统都可以远程通信。因此,我们的服务包括通过安全连接,电话或电子邮件,对包括经过现场验证的,实时远程诊断和排除故障。EVG经验丰富的工艺工程师随时准备为您提供支持,这得益于我们分散的全球支持机构,包括三大洲的洁净室空间:欧洲(HQ),亚洲(日本)和

北美(美国).

IQAligner®

■晶圆规格高达200mm/300mm

■某一时间内

(第/一次印刷/对准)>90wph/80wph

■顶/底部对准精度达到±0.5μm/±1.0μm

■接近过程100/%无触点

■可选Ergoload磁盘,SMIF或者FOUP

■精/准的跳动补偿,实现最/佳的重叠对准

■手动装载晶圆的功能

■IR对准能力–透射或者反射

IQAligner®NT

■零辅助桥接工具-双基片,支持200mm和300mm规格

■无以伦比的吞吐量(第/一次印刷/对准)>200wph/160wph

■顶/底部对准精度达到±250nm/±500nm

■接近过程100/%无触点

■暗场对准能力/全场清/除掩模(FCMM)

■精/准的跳动补偿,实现最/佳的重叠对准

■智能过程控制和性能分析框架软件平台EVG已经与研究机构合作超过35年,能够深入了解他们的独特需求。

IQAligner®NT特征:

零辅助桥接工具-双基板概念,支持200

mm和300mm的生产灵活性

吞吐量>200wph(首/次打印)

尖/端对准精度:

顶侧对准低至250nm

背面对准低至500nm

宽带强度>120mW/cm2(300毫米晶圆)

完整的明场掩模移动(FCMM)可实现灵活的图案定位并兼容暗场掩模对准

非接触式原位掩膜到晶圆接近间隙验证

超平坦和快速响应的温度控制晶片卡盘,出色的跳动补偿

手动基板装载能力

返工分拣晶圆管理和灵活的盒式系统

远程技术支持和GEM300兼容性

智能过程控制和数据分析功能[FrameworkSoftwarePlatform]

用于过程和机器控制的集成分析功能

设备和过程性能跟/踪功能

并行/排队任务处理功能

智能处理功能

发生和警报分析

智能维护管理和跟/踪在全球范围内,我们为许多用户提供了量产型的光刻机系统,并得到了他们的无数好评。本地光刻机高性价比选择

EVG100系列光刻胶处理系统为光刻胶涂层和显影建立了质量和灵活性方面的新的标准。云南光刻机价格怎么样

EVG也提供量产型掩模对准系统。对于在微米范围内的光刻图形,掩模对准器是最/具成本效益的技术,与其他解决方案相比,每层可节省30%以上的成本,这对用户来说是至关重要的。EVG的大批量制造系统旨在以最/佳的成本效率与最/高的技术标准相结合,并由卓/越的全球服务基础设施提供支持。最重要的是,大焦深曝光光学系统完美匹配大批量生产中的厚抗蚀剂,表面形貌和非平面基片的图形。在全球范围内,我们为许多客户提供了量产型的光刻机系统,得到了他们的无数好评。云南光刻机价格怎么样

岱美仪器技术服务(上海)有限公司属于仪器仪表的高新企业,技术力量雄厚。是一家其他有限责任公司企业,随着市场的发展和生产的需求,与多家企业合作研究,在原有产品的基础上经过不断改进,追求新型,在强化内部管理,完善结构调整的同时,优良的质量、合理的价格、完善的服务,在业界受到***好评。公司目前拥有***员工11~50人人,具有["半导体工艺设备","半导体测量设备","光刻机键合机","膜厚测量仪"]等多项业务。岱美中国顺应时代发展和市场需求,通过高端技术,力图保证高规格高质量的["半导体工艺设备","半导体测量设备","光刻机键合机","膜厚测量仪"]。